晶圓表面輪廓儀 (SANFILTER A999-8)

產品特點

非接觸式形貌量測

高速擷取全域晶圓

微米等級高解析度

3D彩色表面輪廓圖

晶圓膜層應力分析

晶圓形貌缺陷直讀

 

技術規格

晶圓尺寸

6吋鏡面晶圓(8, 12吋 option)

橫向解析度

< 300 mm (760 × 570 點)

量測重複性

< 2 μm (Bow or Warp)

量測時間

< 5 sec/片 @ 全域6吋晶圓

晶圓表面特性

拋光、薄膜、研磨、蝕刻

量測分析參數

Bow、Warp、x/y方向剖線圖、3D/立體表面  形貌圖、2D圖、應力、單筆/多筆數據比較

機台外觀尺寸

650(L) x 720(W) x 1760(H) mm

 

應用產業

半導體產業高速形貌檢測

 

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