晶圓表面輪廓儀 (SANFILTER A999-8)
產品特點
非接觸式形貌量測
高速擷取全域晶圓
微米等級高解析度
3D彩色表面輪廓圖
晶圓膜層應力分析
晶圓形貌缺陷直讀
技術規格
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晶圓尺寸 |
6吋鏡面晶圓(8, 12吋 option) |
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橫向解析度 |
< 300 mm (760 × 570 點) |
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量測重複性 |
< 2 μm (Bow or Warp) |
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量測時間 |
< 5 sec/片 @ 全域6吋晶圓 |
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晶圓表面特性 |
拋光、薄膜、研磨、蝕刻 |
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量測分析參數 |
Bow、Warp、x/y方向剖線圖、3D/立體表面 形貌圖、2D圖、應力、單筆/多筆數據比較 |
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機台外觀尺寸 |
650(L) x 720(W) x 1760(H) mm |
應用產業
半導體產業高速形貌檢測
